728x90 TSMC26 "EUV 노광기가 다 아니다"…없어서 못파는 EUV 장비 쟁탈전 "EUV 노광기가 다 아니다"…없어서 못파는 EUV 장비 쟁탈전 마스크 제조 '라이터'와 검사 장비 'APMI' 5나노 이하 초미세 칩 생산성·품질 좌우 오스트리아 IMS·일본 레이저텍 독점 연간 10대 미만 생산…물량 확보 치열 ASML이 독점 공급하는 극자외선(EUV) 노광기 외에 초미세 반도체 공정에 필요한 장비를 선점하기 위한 삼성전자와 TSMC 간 경쟁이 치열해지고 있다. 마스크 제조를 위한 라이터(writer)와 검사 장비 'APMI'가 대표적이다. 이들 장비는 5나노(㎚) 이하 칩 공정 물량이 늘어났을 때 생산성과 품질을 결정지을 핵심 장비들이다. 또 모두 독점 공급 체제다. 업계에 따르면 EUV 초미세 공정에 필요한 첨단 장비들을 입도선매하기 위해 삼성전자, TSMC 등 반도체 제조.. 2022. 2. 7. 미래 반도체의 핵심 'EUV', 그 진화의 끝은 어디? 미래 반도체의 핵심 'EUV', 그 진화의 끝은 어디? 펠리클, ALD, 멀티패터닝 등 EUV 기술은 '진화중' EUV 시대가 올해 본격 개막한다. 2017년 삼성전자가 7나노급 파운드리 공정에 EUV 장비를 처음 적용한 이후 EUV에 대한 관심은 급속도로 높아졌다. 특히 지난해 극미세 공정개발에 대한 니즈(needs)가 커지면서 EUV 대중화 시점도 성큼 앞당겨지는 추세다. 네덜란드 ASML이 유일하게 만드는 EUV 장비는 '없어서 못팔' 정도다. 삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔 등 주요 반도체기업들이 입도선매(立稻先賣)에 나서는 형국이다. EUV 적용범위도 파운드리에 이어 D램으로 점점 확대되는 모습이다. 삼성전자가 2020년 초 EUV 공정을 적용한 1세대(1x) 10나노 DDR4 D램.. 2022. 2. 6. 이전 1 2 3 4 5 다음 728x90
