싸이맥스

싸이맥스, 5축 ATM로봇 올 하반기 양산 추진

 

 

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주요 고객사와 테스트 진행 중…올 하반기 혹은 내년 초 양산 채비
ATM 로봇 내재화 통해 원가 절감, 차세대 장비 개발 가속화 예정

 

반도체 웨이퍼 이송장비 전문업체 싸이맥스가 핵심 부품인 로봇 내재화에 집중하고 있다. 이르면 올 하반기부터 다관절 5축 로봇 양산 채비를 갖추는 방안을 추진 중이다.

29일 업계에 따르면 싸이맥스는 다관절 5축로봇(ATM 로봇)을 올 하반기나 내년 초 양산화하기 위해 주요 고객사와 데모 테스트를 진행 중이다.

반도체 공정은 환경에 따라 일반 대기 환경, 대기보다 기압이 낮은 진공 환경으로 나뉜다. 이 중 ATM 로봇은 일반 대기환경에서 작동하는 로봇이다. 각종 장비에서 웨이퍼를 이송하는 역할을 맡고 있으며, 통상적으로 사람의 팔과 같은 형태로 제작된다. 관절 축이 많아질수록 세밀한 조절이 가능하며 개발에 대한 기술적 난이도 또한 높아진다.

싸이맥스는 기존 ATM 로봇을 일본의 주요 업체로부터 조달해왔으나, 지난 2020년부터 ATM 로봇 개발과 관련한 국책과제를 수주해 내재화에 돌입했다. 관련 기술력 확보를 위해 같은해 의료 로봇업체 사이보그랩을 인수하기도 했다.

이후 싸이맥스는 지난해 하반기 ATM 로봇에 대한 데모 테스트 과정에 들어갔다. 테스트는 싸이맥스의 최대 고객사인 삼성전자에 반도체 장비를 납품하는 1차 벤더들과 진행 중이다. 테스트가 보통 1년에서 1년 6개월 정도 소모된다는 점을 감안하면, ATM 로봇에 대한 양산 준비는 이르면 올 하반기부터 가시화 될 전망이다.

 

싸이맥스가 ATM 로봇의 내재화를 추진하는 이유는 크게 두 가지다. 첫 째는 공급망 안정화 및 원가 절감 차원이다. 싸이맥스의 주력 사업인 웨이퍼 반송 자동화시스템(Cluster Tool System)은 웨이퍼를 담아두는 FOUP을 열고 닫는 LPM, 대기 상태에서 웨이퍼를 반송하는 EFEM, 공정장비의 진공 챔버에서 웨이퍼를 반송하는 TM 등으로 구성된다. 이 중 EFEM에서 TM으로 웨이퍼를 이송하는 장비가 ATM 로봇이다. ATM 로봇이 전체 시스템에서 차지하는 원가 비중은 10%가량으로 알려져 있다.

두 번째는 차세대 장비 개발을 가속화하기 위함이다. 현재 싸이맥스는 기존 TM의 툴 구조를 6각형에서 4각형으로 변환한 리니어(Linear) TM 장비를 개발하고 있다. 4각형 TM은 6각형 TM 대비 공간 활용도가 높아 동일 장비 면적에서 더 많은 웨이퍼를 이송시킬 수 있다.

다만 4각형 TM은 구조 상 6각형 TM에 비해 더 길게 설계되는데, 늘어난 길이 만큼 ATM 로봇도 더 높은 안정성과 신뢰성을 갖춰야 한다는 문제가 발생한다. 싸이맥스는 ATM 로봇 내재화를 통해 이러한 문제를 효율적으로 해결하는 것을 목표로 하고 있다.

싸이맥스 관계자는 "ATM 로봇이 작동을 멈추는 경우 반도체 공정 전체가 가동이 중단되는 만큼 관련 기술력을 확보하는 데 집중하고 있다"며 "현재 데모 테스트에서 고객사로부터 긍정적인 반응을 얻고 있고, 올 하반기나 내년 초에는 양산화 준비에 들어갈 수 있도록 할 것"이라고 밝혔다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(출처:http://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=16548)