국내 반도체 극자외선 솔루션 업체 이솔(에프에스티 자회사)

이솔, 이빔이니셔티브 가입...삼성 이어 두번째 한국기업

 

<경기도 화성시 동탄산단에 위치한 EUV 장비 기업 이솔 클린룸에서 연구원들이 EUV 광원의 주 챔버부분을 제작하고 있다. 화성=박지호기자 jihopress@etnews.com>

국내 반도체 극자외선(EUV) 솔루션 업체 이솔이 '이빔 이니셔티브(eBeam Initiative)'에 가입했다. 이빔 이니셔티브는 전자빔(e-beam)과 EUV 기술에 기반을 둔 세계적인 반도체 설계·제조 커뮤니티다. 국내 기업이 합류한 건 삼성전자에 이어 이솔이 두 번째다.

이솔은 이달 초 이빔 이니셔티브 회원사로 가입했다고 9일 밝혔다. 2009년 반도체 제조용 그래픽처리장치(GPU) 가속 솔루션 공급업체 D2S 주도로 설립된 이빔 이니셔티브는 반도체 전자빔 기술의 글로벌 협력 네트워크다. 전자빔 기술을 반도체 제조 공정에 널리 활용하고 기술 교육과 회원사 간 협력 네트워크 구축을 목적으로 출범했다. 최근 반도체 EUV 시장이 확대되면서 EUV 노광 기술, 포토마스크, 계측 검사 등 활동 범위를 넓히고 있다.

이빔 이니셔티브는 실제 첨단 반도체 공정을 활용하는 민간 기업이 주도한다. 이달 기준 총 51개 회원사가 참여하고 있다.

반도체 제조사에는 삼성전자, 글로벌파운드리스, 키옥시아, 마이크론, SMIC, ST 등이 포진했다. 반도체 장비 분야에서는 어플라이드 머티어리얼즈, ASML, TEL, KLA, 캐논 등이 합류했다. 시높시스, 케이던스, 지멘스EDA 등 반도체 설계자동화(EDA) 툴 기업과 DNP, 토레이, 토판 등 소재부품 업체도 이빔 이니셔티브에서 활동 중이다. 국내 기업은 삼성전자와 이솔뿐이다.

<이빔 이니셔티브 전체 회원사>

이솔은 이빔 이니셔티브에 가입, EUV 솔루션 관련 첨단 기술을 회원사와 공유하고 발전 방안을 모색한다. 각종 세미나와 기술 교류 활동으로 EUV 솔루션 시장 확대에 기여할 계획이다. 이솔은 EUV 마스크 결함을 측정하는 장비와 EUV 포토레지스트 측정 장비, 위상변위마스크(PSM) 측정 장비 등 다양한 EUV 솔루션을 개발, 상용화했다.

김병국 이솔 대표는 “이빔 이니셔티브 가입으로 이솔이 확보한 EUV 솔루션 기술을 글로벌 시장에 알리게 되는 계기가 될 것”이라며 “회원사간 활발한 정보 교류와 기술 협력 네트워크를 추진해 나가겠다”고 밝혔다.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(출처:https://www.etnews.com/20220309000023)